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I.D.: 6948985

Instrumente optice specializate

Data publicarii
30.06.15 Exista 77 licitatii active asemanatoare. Inregistrati-va pentru a avea acces la acestea.
Coduri CPV
38636000
Termenul limita pentru depunere:
05.08.15 16:00
 
 
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Descriere:
Pour ses projets en lithographie avancée sur les noeuds technologiques 14 nm et inférieurs, le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement de scattérometrie.Installé en salle-blanche, l’équipement doit être adapté à la réalisation de mesure sur des wafers de 300 millimètres de diamètre de nature et d’épaisseurs variables.Il doit permettre une mesure statistique de motifs répétés, en mode manuel ou en mode automatique, avec une...
Pour ses projets en lithographie avancée sur les noeuds technologiques 14 nm et inférieurs, le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement de scattérometrie.Installé en salle-blanche, l’équipement doit être adapté à la réalisation de mesure sur des wafers de 300 millimètres de diamètre de nature et d’épaisseurs variables.Il doit permettre une mesure statistique de motifs répétés, en mode manuel ou en mode automatique, avec une capacité à détecter des variations asymétriques et non périodiques.L’analyse des données expérimentales ainsi que la création de recette doivent pouvoir être réalisés à partir d’un serveur fourni avec l’équipement.
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